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联盟团体标准发布公告(一)

联盟团体标准发布公告(一)

来源:
ICMtia
2019/04/22
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根据《团体标准管理规定》及《集成电路材料产业技术创新联盟标准制定程序》要求,经联盟标准委员会审议通过,现批准发布如下2项团体标准:

T/ICMTIA 1-2019《集成电路材料产业技术创新联盟气体基础规范》

T/ICMTIA 2-2019《集成电路用过氧化氢》

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以上标准于2019年4月17日发布,并于2019年10月10日开始实施,特此公告。

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附1:《集成电路材料产业技术创新联盟气体基础规范》目录

附2:《集成电路用过氧化氢》目录

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