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团体标准立项公告

团体标准立项公告

来源:
2019/06/17
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各有关单位:

经集成电路材料产业技术创新联盟(简称:ICMTIA)标准委员会审查,现决定开展如下6项团体标准的制定工作:

2019-10LX-ICMTIA?《集成电路用固体ArF光刻胶单体》

2019-11LX-ICMTIA?《集成电路用液体ArF光刻胶单体》

2019-12LX-ICMTIA?《集成电路用ArF干式光刻胶》

2019-13LX-ICMTIA?《集成电路用ArF浸没式光刻胶》

2019-14LX-ICMTIA?《集成电路用光刻胶检测方法》

2019-15LX-ICMTIA?《集成电路用300mm硅外延片》

项目归口管理单位为ICMTIA标准委员会,欢迎与本标准有关的科研机构、相关企业、使用单位等加入本标准的起草制定工作,有意参与者请与标委会办公室联系。

如有单位或个人对以上标准项目存在异议,请在公告之日起10个工作日内将意见反馈至标准委员会办公室。

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联系人:刘 岩

电 ?话:010-82358415

邮 ?箱:liuyan@icmtia.com

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集成电路材料产业技术创新联盟

二零一九年六月十七日

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